Chung-Hua University Repository:Item 987654321/34981
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    题名: Advanced Process Control of Mix-Product Semiconductor Processes
    作者: 陳俊宏
    Chen, Juhn-Horng
    贡献者: 機械工程學系
    Mechanical Engineering
    关键词: Mix-Product;Semiconductor Processes;Run-To-Run Control;Measurement Delay
    日期: 2010
    上传时间: 2014-06-27 03:15:47 (UTC+8)
    摘要: This paper developed an advanced control technique for mix-product semiconductor processes
    with measurement delay. The conventional run-to-run process control for single-type-product processes was
    improved to that for mix-product processes through individ
    显示于类别:[機械工程學系] 研討會論文

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