Chung-Hua University Repository:Item 987654321/32084
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    题名: Nanoscale scratching of platinum thin films using atomic force microscopy with DLC tips
    作者: 馬廣仁
    Ma, Kung-Jen
    贡献者: 工程科學博士學位學程
    Ph.D. Program in Engineering Science
    关键词: Atomic force microscope/microscopy;MEMS;Machining;Platinum thin-film;Scratching;Scratch cycle number;Threshold force
    日期: 2012
    上传时间: 2014-06-27 01:43:53 (UTC+8)
    摘要: AFM (atomic force microscopy) scratching is a simple yet versatile material removing technique for micro- and nano-patterning. In this article, AFM scratching experiments were conducted to investigate the scratching characteristics of platinum thin-films
    显示于类别:[工程科學博士學位學程 ] 期刊論文

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