鉻氮成份比對氮化鉻薄膜磨潤特性之影響

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Title:	鉻氮成份比對氮化鉻薄膜磨潤特性之影響
Authors:	簡錫新 Chien, H. H.
Contributors:	機械工程學系 Mechanical Engineering
Keywords:	非平衡反應濺鍍;氮化鉻;CrN;磨潤特性非平衡反應濺鍍;氮化鉻;CrN;磨潤特性
Date:	2006
Issue Date:	2014-06-27 03:24:36 (UTC+8)
Abstract:	本研究以非平衡反應濺鍍的方式將氮化鉻（CrN）薄膜鍍在M42的基材上，並探討鉻（Cr）與氮（N）成份比，對薄膜顯微組織、機械性質與磨潤特性的影響。研究結果顯示，鉻/氮比例在50~60%時，有較好的機械性質與磨潤特性；當鉻/氮比例超過60%時，會產生較高的殘留應力，這是由於鉻、氮無法形成完全的氮化鉻化合物薄膜，造成結構產生缺陷，使得氮化鉻薄膜的摩擦係數與磨耗率增加。本研究以非平衡反應濺鍍的方式將氮化鉻（CrN）薄膜鍍在M42的基材上，並探討鉻（Cr）與氮（N）成份比，對薄膜顯微組織、機械性質與磨潤特性的影響。研究結果顯示，鉻/氮比例在50~60%時，有較好的機械性質與磨潤特性；當鉻/氮比例超過60%時，會產生較高的殘留應力，這是由於鉻、氮無法形成完全的氮化鉻化合物薄膜，造成結構產生缺陷，使得氮化鉻薄膜的摩擦係數與磨耗率增加。
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