玻璃基板上非晶矽薄膜太陽能電池雷射退火與離子植入低溫製程設計

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题名:	玻璃基板上非晶矽薄膜太陽能電池雷射退火與離子植入低溫製程設計
作者:	林君明 Lin, Jium-Ming
贡献者:	機械工程學系 Mechanical Engineering
关键词:	Keywords;非晶矽薄膜太陽電池;離子植入;雷射退火;電漿輔助化學氣相沉積 Keywords;非晶矽薄膜太陽電池;離子植入;雷射退火;電漿輔助化學氣相沉積
日期:	2007
上传时间:	2014-06-27 02:49:40 (UTC+8)
摘要:	Abstract --- 本研究是於玻璃基板上進行非晶矽薄膜太陽能電池製程設計，利用離子植入機、電子鎗蒸鍍機、PECVD以及曝光機等，在低鈉玻璃上，製作ITO透明導電膜、鋁電極及P/N junction等。並以CW 532nm雷射對各薄膜進行退火再結晶製程，以提昇在玻璃基板上製作非晶矽太陽能電池的效率。 This research was to make amorphous silicon solar cell on glass substrate. In order to raise the performance a continuous wave Nd: YAG laser (CW 532nm) was applied to anneal the amorphous thin film of silicon. The ion-implanter was also applied to make p-
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