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    題名: Glass Substrate-Based Laser Anneal Amorphous Silicon Solar Cell Design
    作者: 林君明
    Lin, Jium-Ming
    貢獻者: 機械工程學系
    Mechanical Engineering
    關鍵詞: Keywords;非晶矽薄膜太陽電池;離子植入;雷射退火;電漿輔助化學氣相沉積
    Keywords;非晶矽薄膜太陽電池;離子植入;雷射退火;電漿輔助化學氣相沉積
    日期: 2008
    上傳時間: 2014-06-27 02:49:02 (UTC+8)
    摘要: Abstract --- 本研究是於玻璃基板上進行非晶矽薄膜太陽能電池製程設計,利用離子植入機、電子鎗蒸鍍機、PECVD以及曝光機等,在低鈉玻璃上,製作ITO透明導電膜、鋁電極及P/N junction等。並以CW 532nm雷射對各薄膜進行退火再結晶製程,以提昇在玻璃基板上製作非晶矽太陽能電池的效率。
    This research was to make amorphous silicon solar cell on glass substrate. In order to raise the performance a continuous wave Nd: YAG laser (CW 532nm) was applied to anneal the amorphous thin film of silicon. The ion-implanter was also applied to make p-
    顯示於類別:[機械工程學系] 研討會論文

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