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    題名: High Current Driving of SnO2 Channel Thin Film Transistor Using HfO2/ZrO2 High-k Gate Dielectrics
    作者: 吳建宏
    rossiwu
    貢獻者: 電子工程學系
    Electronics Engineering
    關鍵詞: TFT;channel;annealing treatments;high-k
    日期: 2012
    上傳時間: 2014-06-27 02:33:19 (UTC+8)
    摘要: In this study, TFTs using SnO2 channels were formed on SiO2/Si substrates and subsequent annealing treatments. Furthermore, the high-k HfO2/ZrO2 is a promising gate dielectric because of its low leakage current and excellent compatibility with the SnO2 th
    顯示於類別:[電子工程學系] 研討會論文

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