Chung-Hua University Repository:Item 987654321/33730
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    题名: Effect of Oxidation on SGOI Nanowire Biosensor Fabrication Using Ge Condensation
    作者: 賴瓊惠
    Lai, Chiung-Hui
    贡献者: 電子工程學系
    Electronics Engineering
    关键词: 矽鍺在絕緣上;生物感測器;靈敏度
    SiGe-on-lnsulator;bio-sensor;oxidation
    日期: 2012
    上传时间: 2014-06-27 02:29:10 (UTC+8)
    摘要: 鍺的濃縮提供矽鍺在絕緣上的鍺的比例,有助於提高生物感測器的靈敏度,本文探討鍺的最佳濃度對靈敏度的提升.
    Ge condensation offers an attractive way to increase Ge the fraction of Ge in SGOI. From authors' previous investigations, increasing the fraction of Ge increases the sensitivity of the SiGe nanowire sensor. To understand how Ge
    condensation on an SGOI na
    显示于类别:[電子工程學系] 研討會論文

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