金屬輔助蝕刻製作矽奈米結構之研究

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题名:	金屬輔助蝕刻製作矽奈米結構之研究
作者:	馬廣仁 Ma, Kung-Jen
贡献者:	工程科學博士學位學程 Ph.D. Program in Engineering Science
关键词:	多孔隙;反射率;金屬輔助蝕刻 porous silicon;reflectivity;metal-assisted;chemical etching
日期:	2012
上传时间:	2014-06-27 01:49:13 (UTC+8)
摘要:	多孔性的特殊性質，極有潛力應用於光電及感測器等領域，其中利用於太陽能晶片是目前備受矚目的應用之一。為了提升太陽能發電的轉換效率，降低太陽能板表面反射率是其中的方法之一，本研究利用金屬輔助蝕刻法，可能製做出多孔矽，多孔性結構導致光線反射型為之變化，能有效降低反射率至１％以下，此特性有助於提升太陽能轉換之效率 Porous silicon has great potential to beapplied to optoelectronic and sensing field due to it’s special optical and electrical properties. This study aims to enhance light trapping efficiency for silicon solar cell through nanostructure surafce engineerin
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