晶圓製造是個資本密集、製程複雜的高科技產業。由於其投資金額龐大，所以各個FAB無不努力增加其機台利用率以達最大產能，且由於晶圓製造上之種種複雜與限制因素影響下，使得生產管控十分困難。因此發展一套簡單且有效的生產行為預測模式，讓管理者可以快速掌握產線短期未來的情況，勢必對於工廠之管理績效上能有所提升。本研究利用多元線性迴歸分析模式概念進行機台工件到達量之預測。此模式將以多個機台的相關資訊作為自變數，而工件的到達量則為因變數，構建一多元線性迴歸方程式以預測一週內每天各機台工件的到達量。此外，本研究並將此模式的 In the wafer fabrication, the equipment utilization and productivity are the major objectives for all factories, due to high cost and fast depreciation on equipment. As a result of complicated processes and man-ufacturing limitations, shop floor control a
