台灣地區自產能源缺乏，約有百分之九十六的能源須依賴進口，面對能源需 求持續增加，節約能源相形重要。無塵室是一相當耗能的建物，如能做各項之節 能措施，對總體的能源消耗定有很大的幫助。科技業為台灣在全球富有競爭力之 產業，而無塵室為高科技產業必須之設備，該設備的良窊關係產業的競爭力及國 家總體能源之耗用，故無塵室須是省能的設備，並須維持良好而穩定的環境，讓 電子元件精密的生產過程能保持穩定的品質，維持良好之製程良率。 本研究藉由探討無塵室節能之方法及效益之評估，包含使用採用冰水主機熱 回收系統、潔淨室採用Cl Taiwan is lack of energy since approximately 96% of energy is imported from other countries. It is an important issue to save the consuming of energy when we face the increase need of this precious resource. Clean room is the equipment which consumes lots
