隨著晶元元件之尺寸朝向微小化，使得晶元生產作業對環境微振動的要求亦趨為嚴苛。高科技廠房為了管線配置一般使用高架地板，而高架地板通常會使樓版的振動放大數倍。本研究將科技廠房中常見的背景振動現象，如搬運設備的行走、機械設備的馬達轉動、空調設備的運轉及人員的走動…等，以現場量測結果利用EEMD技術進行訊號分離，建立各振動源的訊號特性，再以MATLAB訊號處理程序，利用白噪訊號進行人工合成訊號的模擬生成，並與實測訊號比對。最後將人工合成訊號當背景振動訊號，作為SAP2000結構分析軟體的歷時輸入資料，進行基座振動 Due to the highly tendency of sensitiveness to ambient vibration in high-tech factory building, the criteria of ambient vibration have extremely strict requirement in relatively. This study utilized the collected ambient vibration data to perform the Hilb
