人工合成訊號在高科技廠房的應用

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Title:	人工合成訊號在高科技廠房的應用
Authors:	李錫霖 Lee, Shyi-lin
Contributors:	土木工程學系 Civil Engineering
Keywords:	高科技廠房;微振動;白噪訊號;基座
Date:	2012
Issue Date:	2014-06-26 20:02:28 (UTC+8)
Abstract:	隨著元件之特徵尺寸朝向細微化發展的結果，使得晶元生產作業環境的要求亦較以往更為嚴苛，特別是微振動問題。高科技廠房由於電力配線及氣體輸送管路之架設，均使用高架地板，而高架地板通常會將樓版的振動量放大數倍。本研究將科技廠房中常見的背景振動現象，如搬運設備的行走、機械設備的馬達轉動、空調設備的運轉及人員的走動…等，以現場量測結果利用EEMD技術進行訊號分離，建立各振動源的訊號特性，再以MATLAB訊號處理程序，利用白噪訊號進行人工合成訊號的模擬生成，並與實測訊號比對。最後將人工合成訊號當背景振動訊號，作為SAP
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